Greetings,
die fragen wären so im bereich:
- zukunftige kühlungskanäle im bulk-si -> wie wollen sie diese berwerkstelligen? (für elektronik und kanäle 110 si, oder für elektronik 111 si und über silicion fusion bonding nen 110 si anbringen?)
- welche flüssigkeit wolle sie in den mikrokanälen verwenden? (hab schon mal von welchen gehört, aber noch von keiner deren einsatz konkret war
)
- wie struturieren sie derzeit 45nm? flur-excimer laser und dann über beugungseffekte usw usf? wenn ja, wie weit denken sie dass sie mit solchen "herkömmlichen" methoden noch kommen?
- was kommt dannach? plasma-laser? liga? (syncrotronstrahlung oder die uv variante?)
irgendetwas war mir noch eingefallen...fällt mir aber im moment grad nicht ein...
man könnte bei allen nat. noch defizieler nachfragen, nat. abhängig von den geg. antworten