Greetings,
wenn kunststoff, dann wars wohl liga oder uv-liga verfahren mit anschließender spritzgustechnik (billige massenproduktion)
http://www.dpma.de/veroeffentlichungen/jahresbericht98/ea/images/11-7.gifdas bild zeigt zwar nicht das was ich eigentlich zeigen wollte, aber was besseres hab ich nicht gefunden.
der obere teil ist ein eigener wafer. er wurde geätzt bis die gewünschte tiefe erreicht wurde. durch die kristallorientierung (ich geh jetzt von 100Si aus) entstehen automatisch "schräge" flanken (111 flächen unter 54,74grad [genauer: alpha=arccos(1/wurzel3)]zur oberfläche; das sind ätzstopebenen) die wenn sie fertig geätzt würden, bei ausreichender dicke des wafers, eine spitze ergeben würde -> 3d dann einen v-graben.
man nehme einen 2 wafer mit dem man dasselbe macht (man ätzt bis eine definierte "membran" übrigbleibt; z.b. 5µm dick)
diesen verbindet man nun mit dem 2 über silicon fusion bonding.
es ensteht dazwischen ein definiertes volumen -> referenzvolumen mit spezifischen druck -> misst im verhältnis zum außen anliegenden druck
dazu muss nat. der untere teil weg (damit die membran kontakt zur (umgebung) hat)
die membrandurchbiegung steht dann im verhältnis zum druckunterschied (kann man messen - würde aber die ausführung hier sprengen, was ich wohl sowieso schon gemacht habe
)
es gäb beiweitem schönerer bilder (vorallem in unserem skript), aber die müsst ich erst scannen (was mir eigenltich auch verboten ist
)
zum durchflusswiderstand: da gibst eben flüssigkeiten, mit denen das ansich kein problem ist. flüssiges natrium müsste meiner meinung nach ganz gut gehen. leider ist das erst bei (ich weiß es nicht genau) größer 120C flüssig -> als kühlflüssigkeit eher nicht geeignet für Si-logik)
mir fällt leider die flüssigkeit die unser prog genannt hat nicht mehr ein.
und zum trend: im heim pc bereich hoffe ich auch, dass das nicht zum einsatz kommt (wobei man somit vielleicht an lüfterlose systeme kommen könnte).
aber es gibt sicher andere bereiche, in denen logik bausteine mehr abwärme produzieren, und da könnte man sowas in zukunft vielleicht brauchen (auch diese bereiche sind arbeitgeber, und somit für mich potentiell interessant
)
sorry an das thema, das ich jetzt hier bissl offtopic bin, aber da sprudelt das gelernte bissl aus mir raus
aber nun btt